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蓝宝石圆晶片的端面磨削工艺!

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蓝宝石圆晶片的端面磨削工艺!

发布日期:2016-12-13 14:59 来源:未知 点击:

     在目前的蓝宝石端面磨削领域中,通常蓝宝石磨削要求镜面。由于蓝宝石圆晶片属于硬脆材料,在磨削的过程中容易损坏,所以再蓝宝石圆晶片的端面磨削过程中不能采用高转速磨削加工。因为在应对像蓝宝石圆晶片这种高精度材质,超硬磨具很难发挥作用。端面磨砂轮损耗过快、钝化过快。端面磨砂轮的气孔容易堵塞、磨粒脱落加快,故很难磨削。
      为了解决以上超硬磨具无法加工蓝宝石圆晶片的问题传统的磨削方法采用以下方案进行解决:用游离磨削液供给到工件磨削表面,同时砂轮转速采用6000rpm对蓝宝石晶体圆片进行磨削。种方法进行磨削由于工件的硬度和砂轮的硬度差较小,并且砂轮转速在6000rpm高速旋转,端面磨砂轮自锐性差,砂轮钝化较快,砂轮的锋利程度变差,则由于锋利程度较差的砂轮颗粒的高速旋转,产生使工件的磨削面过度磨损等的脆性破坏,工件的磨削面的表面粗糙度变差。另外,由于锋利程度较差的砂轮在高速旋转,磨削中的工件和卡盘的发热量增多,由于两者在热膨胀的状态下磨削,故磨削后的工件的平面度、表面粗糙度低,根本无法磨削出镜面。
蓝宝石圆晶片端面磨削工艺 
1:端面磨床;2:卡盘座;3:砂轮;4:砂轮轴;5游离磨料;6:供给机构;8:滴下管路;9:喷射喷嘴;w:工件
 
   今天向大家介绍一种采用游离磨料进行磨削蓝宝石晶圆片,并且通过杯型的端面磨砂轮磨削工件并砂轮采用低转速旋转。端面磨砂轮转速为500m/min。游离磨料从工件上滴下或喷雾。也可以采用喷射喷嘴喷出的空气吹向处于由滴下管路滴下途中状态,一边将磨削液吹成雾状,一边供给至工件的磨削部。
这种采用游离磨削进行磨削,同时采用端面磨砂轮低转速工作的方法可以解决高精度加工硬脆材料、难切削材料等的工件,极大地提高加工率。


 

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